Description
Технические характеристики
| Название параметра | Значение |
| Модель продукта | 0190-37519 |
| Производитель | Applied Materials (AMAT) |
| Тип продукта | Компонент системы вакуумного напыления |
| Совместимость | Серии Endura, Centura |
| Рабочее давление | 10-7 — 10-3 Торр |
| Температурный диапазон | До 450°C |
| Материал изготовления | Нержавеющая сталь 316L |
| Класс чистоты | ISO Class 4 |
| Соединительный стандарт | CF Flange |
| Вакуумная совместимость | Полностью совместим с высоким вакуумом |
Основные особенности и преимущества
Прецизионная конструкция: Компонент **0190-37519** изготовлен с микронными допусками, гарантируя идеальное прилегание и герметичность в системах напыления AMAT. Полированная внутренняя поверхность предотвращает накопление частиц.
Выдающаяся термостойкость: Конструкция сохраняет геометрическую стабильность при рабочих температурах до 450°C, обеспечивая стабильность процесса в высокотемпературных средах осаждения.
Совместимость с чистыми процессами: Поверхность, соответствующая стандарту ISO Class 4, полностью исключает риск загрязнения пластин частицами. Материал 316L SS обладает минимальными магнитными свойствами, важными для магнетронного напыления.
Экспресс-замена: Модульная конструкция позволяет заменять компонент без демонтажа всей вакуумной камеры. Все крепежные элементы выполнены из вакуумно-совместимых материалов.
Функциональность продукта
**0190-37519** является ключевым компонентом вакуумных систем Applied Materials, обеспечивая высокую стабильность процессов напыления. Мы предоставляем официальную сертификацию совместимости и 12 месяцев гарантии на продукт. Для консультации по интеграции наши инженеры доступны в WhatsApp. Предлагаем услуги модернизации оборудования с установкой оригинальных компонентов AMAT.
Области применения
В установках магнетронного напыления серии **Endura** компонент **0190-37519** обеспечивает точное позиционирование мишени и равномерность покрытия при производстве полупроводниковых пластин.
В системах PVD для создания барьерных слоев в 3D NAND флэш-памяти модуль поддерживает стабильные параметры напыления меди и тантала на сложные топографии.
При производстве OLED-дисплеев используется в камерах осаждения электродных слоев, обеспечивая чистоту процесса и отсутствие дефектов.
В солнечной энергетике задействован в оборудовании для напыления прозрачных проводящих слоев TCO, критически важных для эффективности фотоэлементов.
Сопутствующие продукты
0190-37520: Прокладка вакуумного уплотнения для компонента
0190-50012: Комплект вакуумных крепежей
0200-02836: Датчик контроля температуры для камеры напыления
0190-40008: Катод магнетронного напыления для систем AMAT
0200-10075: Модуль вакуумной помпы Endura
0190-36015: Распределитель технологического газа
0190-20041: Система выравнивания вакуумного фланца
0200-08779: Блок контроля давления в камере
О компании SaulControl
Мы являемся сертифицированным поставщиком запчастей и компонентов для оборудования Applied Materials в России и СНГ с 2010 года. Наши специалисты обладают уникальным опытом обслуживания установок **Endura**, **Centura** и **Producer** на ведущих полупроводниковых предприятиях. Все компоненты проходят многоступенчатую проверку на соответствие техническим требованиям AMAT.
Консультация технолога: WhatsApp +86 18059884797
Экстренная поддержка: +86 18150899970 (24/7)
Reviews
There are no reviews yet.